Silisyòm gato yo se transpòtè yo nan pi bato. Sepandan, yon moso nan wafer Silisyòm kache anpil detay enkoni, tankou: Ki sa ki oryantasyon yo kristal nan gato Silisyòm? Konbyen bor pwezante ki genyen? Kouman se kwen an pwezante pozisyone? Ki diferans ki genyen ant kwen pwezante a ak Groove nan pozisyon? Ak sou sa. Ann eksplike li an detay jodi a.
Ki sa ki kwen an pwezante\/Groove?
Groove nan pwezante (Notch) yo itilize pou pozisyon gato Silisyòm pi wo a 8 pous (enklizif), ak kwen nan pwezante (plat) yo itilize pou pozisyon gato Silisyòm ki anba a 8 pous.
Silisyòm kwen pwezante kwen an se yon bò kout nan wafer la Silisyòm, ak Groove nan pwezante se yon sentr oswa V ki gen fòm dan sou kwen an.
Kouman yo fè siyon yo pwezante\/bor?
Apre yo fin itilize metòd CZ a pou rale deyò a, de bout yo bezwen koupe, epi lè sa a kolòn Silisyòm lan se yon tè pou jwenn yon dyamèt apwopriye, epi lè sa a yon pati nan kolòn Silisyòm lan tè pou jwenn kwen pwezante a, epi finalman, se kolòn Silisyòm koupe nan Silisyòm Silisyòm youn pa yon sèl ak yon fil kouran an.
Relasyon ak oryantasyon kristal & dopan
Anjeneral, sèlman kwen an pwezante gen fonksyon an nan ki endike oryantasyon an kristal ak kalite dopan. Oryantasyon kristal la ak kalite dopan nan wafer la Silisyòm yo detèmine dapre pozisyon an ak nimewo nan bor yo pwezante. Groove nan pwezante yo pral nan pati anba a nan wafer la Silisyòm, ak oryantasyon an kristal ak kalite dopan pa ka entwitif wè nan Groove nan pwezante. Oryantasyon kristal komen yo<100>, <110>, <111>, ak kalite yo dopan yo n-kalite ak p-kalite.
Nimewo a nan bor pwezante nan yon wafer Silisyòm se youn oswa de. Kalite wafer Silisyòm ak yon sèl kwen pwezante se p-kalite<111>. Si wafer la Silisyòm gen de bor pwezante, Lè sa a, kwen an pwezante pi long se kwen an pwezante prensipal, ak yon sèl la pi kout se kwen an pwezante segondè. Kwen prensipal la pwezante se sitou pratik pou aliyman an nan wafer la Silisyòm nan pwosesis la semi -conducteurs, pandan y ap kwen an pwezante segondè endike oryantasyon an kristal ak kalite dopan. Kwen prensipal la pwezante se nan pati anba a nan wafer la Silisyòm, pandan y ap pozisyon nan kwen an pwezante segondè se pa fiks ak chanjman ak chanjman nan oryantasyon an kristal ak dopan kalite wafer la.
Anjeneral, longè kwen prensipal pozisyon yon {{0}
Lè ang ki genyen ant kwen an pwezante prensipal ak kwen an pwezante segondè se 45 degre, kalite a wafer Silisyòm se N-kalite<111>; Lè ang ki genyen ant kwen an pwezante prensipal ak kwen an pwezante segondè se 90 degre, kalite a wafer Silisyòm se p-kalite<100>; Lè ang ki genyen ant kwen an pwezante prensipal ak kwen an pwezante segondè se 180 degre, kalite a wafer Silisyòm se N-kalite<100>. Depi la<110>Oryantasyon Crystal se pa yon oryantasyon kristal prensipal Silisyòm Silisyòm, pa gen okenn estanda pou reprezante li. A<110>Oryantasyon kristal ka reprezante dapre estanda founisè Wafer Silisyòm yo.
Enfliyans oryantasyon kristal sou teknoloji semi -conducteurs
Sou plan an (100) kristal, aranjman nan atòm Silisyòm se tetragonal, pandan y ap sou (111) avyon an kristal, aranjman nan atòm Silisyòm se egzagonal. Depi atòm yo Silisyòm sou (111) avyon an kristal yo gen plis kontra enfòmèl ant, reyaksyon chimik yo se relativman ba, pandan y ap (100) avyon an kristal se opoze a epi ki gen yon reyaktivite chimik ki pi wo.
Se poutèt sa, Silisyòm sou (100) Crystal plan an etches pi vit pase Silisyòm sou (111) avyon an kristal, ak pousantaj la oksidasyon nan (111) avyon an kristal se nòmalman pi ba pase sa yo ki an (100) avyon an kristal.
Enfliyans nan konsantrasyon an dopan nan gato Silisyòm sou pwosesis semi -conducteurs
Pandan pwosesis la grave, dopan ogmante konduktiviti nan Silisyòm, fè li pi sansib a grave elèktrochimik. Diferan konsantrasyon dopan pral rezilta nan diferan pousantaj grave, ak trè doped Silisyòm pral anjeneral etch pi vit.
Pandan pwosesis la difizyon, konsantrasyon an dopan nan wafer la Silisyòm pral tou afekte pousantaj la difizyon nan dopan la nan Silisyòm. Trè doped Silisyòm pral lakòz dopan a difize pi fon.