Dopurasyon malpwòpte se yon etap trè enpòtan nan manifakti chip. Prèske tout sikwi entegre, poul, aparèy pouvwa, elatriye mande pou dopan. Se konsa, poukisa dopan? Ki sa ki metòd yo dopan? Ki wòl dopan?
Poukisa Doping?
Silisyòm intrinsèques gen pòv konduktiviti. Li nesesè pou entwodui yon ti kantite enpurte nan Silisyòm intrinsèques pou ogmante kantite elektwon mobil oswa twou pou amelyore pwopriyete elektrik li yo pou Silisyòm ka satisfè nòm yo pou manifakti semi -conducteurs.
Ki sa ki intrinsèques Silisyòm?
Silisyòm intrinsèques refere a Silisyòm pi, Silisyòm ki pa doped ak nenpòt ki enpurte, ak nimewo li yo nan elektwon gratis ak twou ki egal. Silisyòm intrinsèques se yon materyèl semi -conducteurs ak konduktiviti pòv nan tanperati chanm.
Ki sa ki N-kalite Silisyòm?
N-kalite Silisyòm fèt pa dopan pi silikon ak eleman pentavalent (tankou P, kòm, elatriye). Atòm eleman pentavalent tankou fosfò ak asenik ranplase pozisyon atòm Silisyòm yo. Depi Silisyòm se 4- valent, pral gen yon elèktron siplemantè. Elektwon siplemantè yo ka deplase lib epi pote chaj negatif. N vle di negatif.
N+: lou doped n-kalite semi-conducteurs. N-: alalejè doped n-kalite semi-conducteurs.
Ki sa ki P-kalite Silisyòm?
P-kalite Silisyòm fèt pa dopan pi silikon ak eleman trivalent (tankou B, GA, elatriye). Atòm nan eleman trivalent tankou bor ak galyòm ranplase pozisyon an nan atòm Silisyòm, men konpare ak atòm Silisyòm, li manke yon elèktron. Yon twou parèt nan pozisyon kote elèktron la manke. Twou nan tèt li gen yon chaj pozitif epi yo ka aksepte elektwon, kidonk li te rele P-kalite Silisyòm. P kanpe pou pozitif.
P+, ki vle di yon trè doped P-kalite semi-conducteurs ak yon konsantrasyon segondè. P-, ki vle di yon semi-conducteurs P-kalite ak yon konsantrasyon dopan ki ba.
Eleman pentavalent komen
Eleman pentavalent yo se eleman gwoup VA nan tablo peryodik la, ki reprezante pa P ak AS. De eleman sa yo gen 5 elektwon nan kouch eksteryè a, 4 nan yo ka fòme lyezon kovalan ak atòm Silisyòm, ak yon sèl ki rete a se yon elèktron gratis.
Fosfò (P) se yon eleman ki pa metalik ak yon varyete de allotropes, ki pi komen nan yo ki se fosfò blan, fosfò wouj ak fosfò nwa. Asenik (AS) se yon eleman metalloid ak yon ekla metalik ak pwopriyete chimik ki sanble ak fosfò, men konpoze asenik yo jeneralman pi estab. Trioksid asenik se yon oksid asenik, AS2O3.
Eleman trivalent komen
Eleman trivalent yo se eleman gwoup IIIA nan tablo peryodik la, ki reprezante pa bor (B) ak Gallium (GA). De eleman sa yo gen 3 elektwon nan kouch eksteryè a.
- Bor (B) se yon eleman difisil ak frajil ki pa metalik ak yon koulè nwa oswa mawon. Nan lanati, li sitou egziste nan fòm lan nan oksid li yo oswa borat, ak sibstans ki sou komen gen ladan asid borik, boraks, elatriye.
- Gallium (GA) se yon metal mou ak yon pwen ki ba k ap fonn. Pwen k ap fonn li se sou 29.76 degre, ak GaAs se lajman itilize kòm yon materyèl semi -conducteurs. Anplis de sa, se Gallium tou yo itilize nan pwodiksyon an nan selil solè, poul, elatriye.
Metòd dopan komen
Gen kounye a de metòd prensipal, sètadi difizyon ak enplantasyon ion:
- Difizyon
Premyèman, se wafer nan semi -conducteurs netwaye asire ke pa gen okenn kontaminasyon sou sifas li yo. Imedyatman, se wafer nan Silisyòm chofe nan tanperati ki wo (gwo founo dife difizyon). Atòm dopant ka antre nan materyèl la semi-conducteurs, epi apre difizyon, pòs-pwosesis tankou rkwir se fè estabilize distribisyon an nan dopan.
- Enplantasyon ion
Enplantasyon ion itilize segondè vòltaj pou akselere dopan ionized a vitès trè wo, ak iyon yo akselere yo jisteman tire nan sifas la nan wafer la Silisyòm. Paske iyon yo gen gwo enèji sinetik, yo pral antre sifas la nan wafer la Silisyòm ak antre nan enteryè li yo.
