Nou tout konnen sou Silisyòm. Sepandan, Silisyòm yo itilize nan manifakti chip se pafwa sèl - Silisyòm kristal epi pafwa polikristalin silikon. Pèfòmans lan nan polikristalin ak sèl - Silisyòm kristal diferan anpil. Se konsa, ki sa ki avantaj respektif yo? Ki aplikasyon yo? Ak ki jan yo pwodwi?
Ki sa ki se yon kristal?
Ki sa ki se yon kristal?
Yon kristal se yon solid nan ki atòm, iyon, oswa molekil yo ranje nan yon modèl espasyal regilye dapre yon peryodisite sèten, fòme yon fòm regilye jewometrik.
Materyèl komen cristalline yo enkli:
Kristal metalik: tankou fè, kwiv, lò, ak ajan.
Kristal iyonik: NaCl, CuSO4, elatriye.
Kristal dielèktrik: oksid Silisyòm, Silisyòm nitrid, elatriye, ki ka cristalline oswa amorphe.
Kristal semi -conducteurs: tankou Silisyòm ak germanium.
Ki sa ki se yon sèl Silisyòm kristal ak polikristalin Silisyòm?
Yon kristal sèl refere a yon materyèl nan ki atòm yo, iyon, oswa molekil yo ranje egzakteman menm jan soti nan yon fen nan lòt la, kenbe oryantasyon an menm. Kristal la tout antye gen yon sèl oryantasyon kristal ak pa gen okenn limit grenn jaden.
Yon polikristal refere a yon materyèl ki konpoze de anpil grenn ti (kristal sèl), yo chak ak pwòp oryantasyon kristal inik li yo. Grenn sa yo parèt owaza oryante sou yon echèl makroskopik, men oryantasyon an nan chak grenn ki konsistan.
Single - Crystal Silisyòm gen sèlman yon sèl oryantasyon kristal, tipikman<100>, <110>, oswa<111>. Diferan oryantasyon kristal gen divès efè sou pwosesis tankou grave, oksidasyon, ak enplantasyon ion pandan manifakti semi -conducteurs, fè oryantasyon ki apwopriye a enpòtan pou optimize pèfòmans chip.
Konparezon nan pwopriyete nan Silisyòm monokristalin ak polikristalin Silisyòm
Pwopriyete elektrik: Silisyòm polikristalin gen pwopriyete elektrik yon ti kras enferyè konpare ak Silisyòm monokristalin, prensipalman akòz sant simaye konpayi asirans ki te fòme nan limit grenn polikristalin. Silisyòm monokristalin, sepandan, gen pi wo mobilite elèktron akòz mank li yo nan limit grenn jaden ak kontinwite estriktirèl.
Aparans: Silisyòm monokristalin sanble ak yon glas apre polisaj. Sa a se paske lè limyè frape Silisyòm monokristalin, li reflete limyè nan menm fason an ak direksyon. Nan contrast, lè limyè frape silikon polikristalin, chak grenn kristal reflete limyè yon fason diferan, sa ki lakòz yon aparans granulaire.
Aplikasyon nan monokristalin ak polikristalin silikon nan bato?
Silisyòm monokristalin
1. Monokristalin Silisyòm gato, itilize kòm substrats
2. Gen kèk pwodwi chip mande pou mens monokristalin kouch silisyòm
1. Nan MOSFETs, se polikristalin Silisyòm souvan itilize kòm materyèl la pòtay. Konbine avèk Silisyòm oksid izolasyon kouch la, polikristalin Silisyòm se eleman kle a ki kontwole koule nan aktyèl nan tranzistò.
2. Li kapab itilize nan selil solè ak ekspozisyon kristal likid.
3. kòm yon kouch sakrifis. Pandan manifakti MEMS, yo itilize yon kouch sakrifis pou kreye yon estrikti tanporè ki pita retire pou lage estrikti pèmanan an.
Kouman yo selibatè - Silisyòm kristal ak polikristalin Silisyòm pwodwi?
Si yo itilize kòm yon substrate,
Single - Crystal Silisyòm jeneralman pwodwi lè l sèvi avèk metòd la CZ oswa FZ. Te metòd la CZ te deja prezante:
Entwodiksyon nan pwosesis la konplè CZ pou pwodwi sèl - Silisyòm kristal.
Silisyòm polikristalin, sou lòt men an, sèvi ak Distribisyon blòk, FBR, ak Siemens metòd.
Si yo itilize fòmasyon fim nan yon chip,
Single - Crystal Silisyòm mande pou epitaksi CVD, epitaksi gwo bout bwa molekilè, ak lòt metòd. Silisyòm polikristalin, sou lòt men an, yo ka pwodwi lè l sèvi avèk kardyovaskulèr, PVD, ak lòt metòd.