Mekanis nan Silisyòm nitrid kwasans fim
Ekwasyon kwasans LPCVD:
Ekwasyon an pou kwasans PECVD se:
Soti nan de figi ki anwo yo, nou ka wè sa:
SIH4 bay sous la SI, ak N2 oswa NH3 bay sous la N.
Sepandan, akòz tanperati a reyaksyon segondè nan LPCVD, atòm idwojèn yo souvan yo retire nan fim nan Silisyòm nitrid, se konsa kontni an idwojèn nan reyaktif a ki ba. Silisyòm nitrid se sitou ki konpoze de Silisyòm ak eleman nitwojèn.
Tanperati reyaksyon PECVD a ba, epi atòm idwojèn yo ka kenbe nan fim nan kòm yon pwodwi pa reyaksyon an, okipe pozisyon yo nan atòm n ak atòm Si, fè kontni an idwojèn nan fim nan pi wo, sa ki lakòz fim nan pwodwi yo pa dans.
Poukisa PECVD souvan itilize NH3 pou bay yon sous nitwojèn?
Molekil NH3 gen ladan NH lyezon sèl, pandan y ap molekil N2 gen ladan N≡N lyezon trip. N≡N se pi plis ki estab epi li gen pi wo enèji kosyon, se sa ki, se yon tanperati ki pi wo obligatwa pou reyaksyon an rive. Enèji kosyon NH ki ba nan NH₃ fè li premye chwa a pou sous nitwojèn nan pwosesis ki ba-tanperati PECVD.
